「光谱 · 硬科技」复享光学参加慕尼黑上海光博会,欢迎莅临!

上海复享光学股份有限公司是一家算法驱动的光谱硬科技公司,公司致力于为科研创新、微纳制造提供深度光谱解决方案。本次慕尼黑上海光博会,复享光学将围绕光 / 光电 / 集成电路制程芯片,呈现多方位产品及解决方案展示,诚邀您莅临观展。

▶展位:W5 馆 5440

▶ 时间:2021 年 3 月 17-19 日

▶ 地点:上海新国际博览中心

专题 1

光芯片、光电子芯片检测方案
AR 光芯片检测

宏观角分辨光谱设备 R1:自动化运行,便捷操作实现不同角度入射和接收光谱检测。一套系统实现偏振、分子取向、光栅尺寸等多种测试功能。

主要指标:

  • 倾角误差:< 1°
  • 周期误差:< 2 nm
  • 检测效率:> 20 pcs/h

新型显示面板单像素光谱检测

共焦显微光谱模块 gora-Lite:通过功能模块搭建,即插即用。基于已有设备,随实验室需要快速调整,实现拉曼、荧光寿命等光谱特性测试。

主要指标:

  • 亮度范围:0.1-2000 nit
  • 亮度精度:±2% (1 ~ 2000 nit)
  • 色度精度:±0.003

专题 2

集成电路设备模组单层/多层薄膜厚度检测

膜厚测量解决方案 filmX:多种测试系统形态,实现不同膜厚测量场景兼容高精度、便捷膜厚测量,兼容产线使用。

主要指标:

  • 厚度范围:50 nm ~ 100 μm
  • 光谱范围:300 ~ 1700 nm
  • 层数:≤ 200 层

晶圆级光电检测、OES 光谱模组、自动化反射率仪,更多精彩设备现场揭晓。现场更有 精美小礼品 赠送,W5 馆 5440 欢迎诸位莅临。

慕尼黑上海光博会展位图 W5 馆 5440 

7 号线花木路站可直达上海新国际博览中心

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上海复享光学股份有限公司

电话 | 400-001-5685

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官网 | www.ideaoptics.com

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