“一个平台”完成多类型光谱检测,复享光学携新品参展深圳光博会

9 月 16 日—18 日,光电业行业瞩目的光电展示及交流平台——第 23 届中国国际光电博览会(以下简称“深圳光博会”)在深圳国际会展中心拉开帷幕。展会期间,上海复享光学股份有限公司(以下简称“复享光学”)携带两大新品 filmX 膜厚测量系统、gora-Lite 显微共焦光谱模块亮相,展示能满足新型芯片检测需求的最新光谱智能技术。

近年来,微纳制造的快速发展和芯片半导体“卡脖子”问题为光谱技术在中国半导体制造环节的应用带来了契机,复享光学正是一家以智能光谱技术为半导体产业提供检测设备和方案的科技创新型企业。

复享光学展位现场

半导体产业具有产业链长、细分环节多的特点,每个环节中 0.1% 的误差都可能对成品的良品率造成致命的打击,而频率、动量、位置、偏振、相位等深度光谱技术以及人工智能解决方案能够完成半导体制程中的检测环节,纠正 0.1% 的误差。为了更准确地纠正半导体产业链各个环节中可能产生的细微误差、满足不断缩小的制程及各种新型芯片的检测需求,复享光学自 2011 年创立以来,从光子学的物理模型出发,结合神经网络分析的光谱智能技术,创新性地打造包括频率、动量、位置、偏振、相位等全面而智能的光谱技术、产品和解决方案。

10 年来的深耕和积累使得复享光学成长为少数能够为半导体产业提供智能化全光谱检测方案的硬科技公司。复享光学的研发团队由光子学、人工智能领域人才及前沿光电子学科带头人组成,着力于光子学与人工智能的融合,公司已申请 76 项知识产权,其中已授权 60 项,含 16 项发明专利、2 项国际专利,承担超 20 项国家科技专项。凭借技术研发实力,在科研创新市场,复享光学产品已获得国内外客户的高度认可;在集成电路设备市场,复享光学已成功进入半导体领域头部企业的供应链系统,逐步实现集成电路设备关键零部件的进口替代。

filmX膜厚测量系统

本次参展深圳光博会,复享光学带来了两大“硬核”产品:filmX 膜厚测量系统和 gora-Lite 显微共焦光谱模块。

filmX 膜厚测量系统是专为膜厚检测用户提供的模组和解决方案,其最大的特点是配置灵活,可用于不同厚度、不同层数的薄膜检测。filmX 膜厚测量系统采用了高性能复合光源,波段范围最宽可达 190-2500nm;配有单层膜 / 多层膜分析算法包,支持离线检测和在线集成应用。该产品能够进行快速、高精度的非接触、非破坏性膜结构测量,满足不同膜厚测量场景的使用需求,可广泛应用于先进制造、半导体加工、照明显示、生物医药等领域。

gora-Lite显微共焦光谱模块

gora-Lite 显微共焦光谱模块的独特优势则能够以“一个平台”为用户提供多种深度光谱解决方案。该产品具备快速安装、一键自动切换等特点,具有集成化、自动化、智能化、开放性和复用性等优势,既可以独立成系统,也可以连接用户显微镜、光路系统,还可以适配探针台、强磁体、冷台等环境设备,能实现微区透反射、荧光、拉曼、寿命、非线性、光电流、mapping 等多种原位光谱检测。gora-Lite 显微共焦光谱模块的应用将有效解决传统商用共聚焦光谱系统调试和搭建复杂,而开放共聚焦光谱系统精度难稳定保证以及测试模式切换繁琐等问题。

光检测将成为半导体产业的重要一环,复享光学希望通过本次展会的产品展示,吸引更多行业人士加入到光检测技术的研发和应用中来。复享光学总经理殷海玮表示:“在如今的芯片行业中,‘如何利用光’既是要解决的问题,也是答案本身。复享光学就是在‘光’本身中寻找答案,将光谱这一应用超过百年的传统光学技术发展为具有更高维度的、由算法驱动的深度光谱技术,为半导体产业提供全面而智能的光检测解决方案,这是复享光学将持续奋斗的事业。”

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